纳米氧化铈抛光液

氧化铈抛光液

纳米氧化铈抛光液

磨料：铈化合物
载液：水基
PH 值：3-13
D50 :0.05μm-0.1μm;0.1μm-0.3μm;0.3μm-0.5μm
包装：500ML/BTL

特点

1 - 以铈基化合物做为基础磨料的抛光浆料具有去除二氧化硅速度快、平面化效率高的优点。在 STI CMP 中，它是 SiO2 和 Si3N4 材料的最佳抛光材料。
2 - 产品可用于光掩膜抛光、TFT 抛光和一般光学产品（石英玻璃、陶瓷玻璃、BK7 和熔融石英玻璃）最严格的表面抛光。可达到低于1埃的表面粗糙度。
3 - 可根据要求进行定制开发。

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